SiC belægning halvmåne grafit dele

I reaktionskammeret i SiC-epitaksialvækstovnen er SiC-belægningen Halfmoon-grafitdele nøglekomponenter til optimering af gasstrømfordeling, termisk feltkontrol og ensartethed i reaktionsatmosfæren. De er normalt lavet af SiC-belægninggrafit, designet i en halvmåneform, placeret i de øvre og nedre grafitdele af reaktionskammeret, der omgiver substratområdet.

    •Øvre halvmåne grafitdel: installeret i den øvre del af reaktionskammeret, nær gasindløbet, ansvarlig for at styre reaktionsgassen til at strømme mod substratoverfladen.

    •Nederste halvmåne grafit del: placeret i bunden af ​​reaktionskammeret, sædvanligvis under substratholderen, bruges til at styre gasstrømningsretningen og optimere det termiske felt og gasfordeling i bunden af ​​substratet.

I løbet afSiC epitaksi proces, hjælper den øverste halvmåne grafitdel med at styre gasstrømmen til at blive jævnt fordelt på substratet, hvilket forhindrer gassen i direkte at påvirke substratoverfladen og forårsage lokal overophedning eller luftstrømsturbulens. Den nederste halvmåne grafitdel tillader gassen at strømme jævnt gennem substratet og derefter udledes, samtidig med at turbulens forhindres i at påvirke vækstens ensartethed af det epitaksiale lag.

Med hensyn til termisk feltregulering hjælper SiC-belægning Halfmoon-grafitdele med at fordele varmen i reaktionskammeret jævnt gennem form og position. Den øverste halvmåne grafitdel kan effektivt reflektere varmerens strålevarme for at sikre, at temperaturen over underlaget er stabil. Den nederste halvmåne grafitdel har også en lignende rolle, og hjælper med at fordele varmen jævnt under substratet gennem varmeledning for at forhindre for store temperaturforskelle.

SiC-belægningen gør komponenterne modstandsdygtige over for høje temperaturer og termisk ledende, så VeTek Semiconductors halvmånedele har en lang levetid. Vores halvmånegrafitdele til SiC-epitaksi er omhyggeligt designet og kan integreres problemfrit i mange epitaksiale reaktorer, hvilket hjælper med at forbedre den overordnede effektivitet og pålidelighed af halvlederfremstillingsprocessen. Uanset hvad din SiC-belægning Halfmoon-grafitdele har brug for, bedes du kontakte VeTek Semiconductor.

VeteksemSiC belægning halvmåne grafit dele butikker: