VeTek Semiconductor er en førende leverandør af tilpasset Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon i Kina, med speciale i avancerede materialer i mange år. Vores Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon er specielt designet til SiC epitaksialt udstyr, hvilket sikrer fremragende ydeevne. Fremstillet af ultra-ren importeret grafit giver den pålidelighed og holdbarhed. Besøg vores fabrik i Kina for at udforske vores højkvalitets Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon på egen hånd.
VeTek Semiconductor er en professionel producent dedikeret til at levere Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon. Vores produkter Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon er specielt designet til SiC epitaksiale kamre og tilbyder overlegen ydeevne og kompatibilitet med forskellige udstyrsmodeller.
Funktioner:
Tilslutning: VeTek Semiconductor Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon er designet til at forbindes med kvartsrør, hvilket letter gasstrømmen til at drive rotationen af bærebasen.
Temperaturkontrol: Produktet giver mulighed for temperaturkontrol, hvilket sikrer optimale forhold i reaktionskammeret.
Non-Contact Design: Installeret inde i reaktionskammeret, vores Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon kommer ikke direkte i kontakt med waferne, hvilket sikrer processens integritet.
Ansøgningsscenarie:
Vores Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon fungerer som en kritisk komponent i SiC epitaksiale kamre, hvor den hjælper med at holde urenhedsindholdet under 5 ppm. Ved nøje at overvåge parametre som tykkelse og dopingkoncentrationens ensartethed sikrer vi epitaksiale lag af højeste kvalitet.
Kompatibilitet:
VeTek Semiconductors Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon er kompatibel med en lang række udstyrsmodeller, herunder LPE, NAURA, JSG, CETC, NASO TECH og så videre.
Vi inviterer dig til at besøge vores fabrik i Kina for at udforske vores højkvalitets Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon på egen hånd.
Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning | |
Ejendom | Typisk værdi |
Krystal struktur | FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret |
Massefylde | 3,21 g/cm³ |
Hårdhed | 2500 Vickers hårdhed (500 g belastning) |
Kornstørrelse | 2~10μm |
Kemisk renhed | 99,99995 % |
Varmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimeringstemperatur | 2700℃ |
Bøjningsstyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃ |
Varmeledningsevne | 300W·m-1·K-1 |
Termisk udvidelse (CTE) | 4,5×10-6K-1 |