ALD-receptor

Som professionelALD modtagerproducent i Kina, vores produktALD modtagerDet er den præcise temperaturkontrol, ensartede gasfordeling og fremragende varmeledningsevne og andre produktegenskaber, der bestemmer detALD modtagerspiller en afgørende rolle i atomlagaflejringsprocessen (ALD). Vigtig rolle, velkommen til din konsultation.

Ensartet tyndfilmaflejring:ALD Susceptor sikrer ensartet aflejring af atomlag over hele waferoverfladen under atomlagaflejringsprocessen (ALD). Dets unikke roterende design gør det muligt for gasser og reaktanter at komme i jævn kontakt med waferoverfladen, hvilket resulterer i ensartet filmtykkelse. Dette er afgørende for højpræcisions halvlederfremstilling.

Forbedre aflejringskvaliteten: Ved at optimere temperaturkontrol og gasfordeling forbedrer ALD Susceptor filmkvaliteten og ydeevnen betydeligt, hvilket reducerer defekter og uensartethed. Dette gør den ideel til højpræcisionsfremstilling af halvledere og elektroniske enheder, hvilket sikrer produktets pålidelighed og ydeevne.

Understøtter multi-wafer-behandling: Visse ALD Susceptor-design tillader, at flere wafere kan behandles samtidigt, hvilket øger produktionseffektiviteten. Dette er især vigtigt for produktionsmiljøer med høj kapacitet, der er i stand til at imødekomme behovene ved storskalaproduktion.

Plads til forskellige størrelser og typer af wafers:ALD Susceptorer er generelt designet til høj kompatibilitet og kan understøtte forskellige størrelser og typer af wafere. Dette gør det effektivt i en række forskellige produktionsprocesser, hvilket giver større fleksibilitet og tilpasningsevne.

Reducer produktionsomkostningerne:På grund af dens effektive gasdistribution og ensartede opvarmningsevner øger ALD Susceptor effektiviteten af ​​deponeringsprocessen og reducerer derved materialespild og produktionsomkostninger. Dette hjælper ikke kun med at forbedre produktionseffektiviteten, men reducerer også produktionsomkostningerne betydeligt.

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning:

Produktionsbutikker:

Oversigt over halvlederchip-epitaksi-industrikæden：