Grafit roterende modtager

Roterende susceptor af høj renhed af grafit spiller en vigtig rolle i den epitaksielle vækst af galliumnitrid (MOCVD-proces). VeTek Semiconductor er en førende grafit roterende susceptor producent og leverandør i Kina. Vi har udviklet mange højrente grafitprodukter baseret på højrente grafitmaterialer, som fuldt ud opfylder kravene fra halvlederindustrien. VeTek Semiconductor ser frem til at blive din partner i Rotating Graphite susceptor.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Schematic diagram of the working process of High purity graphite rotating susceptor

Roterende susceptorer af høj renhed af grafit bruges i materialebehandlingsudstyr under høje temperaturer og højvakuummiljøer. I den epitaksiale vækst af galliumnitrid (MOCVD-proces) spiller de en understøttende rolle i rotationen af substratet. VeTekSemis roterende grafit-susceptor har følgende fordele:

● Høj renhed: Urenhedsindholdet i roterende susceptorer med høj renhed af grafit er under 5 ppm. Dette niveau af renhedsgrafit kan undgå frigivelse af urenheder ved høje temperaturer for at sikre renheden af aflejringsprocessen. Derfor kræves der ingen belægning for at opfylde arbejdskravene.

Grafit med høj renhed

● Fremragende termiske egenskaber: Grafit med høj renhed har fremragende varmeledningsevne, og dens varmeledningsevne er meget højere end andre materialer. Den termiske udvidelseskoefficient er lille og kan opretholde en stabil ydeevne, når der opleves temperaturændringer.

● Gode mekaniske egenskaber: Grafit med høj renhed har god slidstyrke og sejhed, som kan opfylde de komplekse krav til CVD-processen.

● Fremragende ledningsevne: Ledningsevnen er hundrede gange højere end den for almindelige ikke-metalliske mineraler.

● Kemisk stabilitet: Det kan modstå korrosion fra syrer, baser og organiske opløsningsmidler

Som en førende producent og leverandør af roterende susceptor af høj renhed af grafit i Kina, leverer VeTek Semiconductor også høj kvalitetSiC Coated Graphite Susceptor til MOCVD, SiC Coated Barrel Susceptor, TaC-belagt grafitmodtagerogMOCVD SiC belægning susceptor.VeTek Semiconductorer forpligtet til at levere avanceret teknologi og produktløsninger til halvlederindustrien og understøtter også tilpassede tjenester. Vi ser oprigtigt frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

VeTek SemiconductorGrafit Roterende Susceptor-produktbutikker:

Graphite Susceptor Vetek Semiconductor Graphite Rotating Susceptor test Semiconductor ceramics technology