TaC Coated ring

Som en førende producent og leverandør af TaC Coated ringprodukter i Kina har VeTek Semiconductor fokuseret på R&D og produktion af forskellige TaC coatingprodukter. Som hovedkunder af TaC Coating-produkter har europæiske og amerikanske producenter givet stor ros til vores coatingprodukter. Velkommen til din videre konsultation.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

VeTeksemi TaC Coated Ring er en højtydende komponent, der er skræddersyet til halvlederfremstillingsprocesser. Dens unikt designede tantalcarbid (TaC) belægning giver produktet fremragende højtemperaturbestandighed, korrosionsbestandighed og mekanisk stabilitet, hvilket væsentligt forbedrer levetiden og pålideligheden af grafitkomponenter i halvlederudstyr.

Overlegen ydeevne af tantalcarbidbelægninger:

● Ultrahøj temperaturbestandighed: TaC-belægninger kan nemt modstå ekstreme temperaturer på op til 2200°C og forbliver stabile under termiske chokmiljøer, der er almindelige i halvlederfremstilling.

● Fremragende kemisk stabilitet: Belægningen viser stærk modstand mod almindelige ætsende gasser som brint, ammoniak, silan og silicium, hvilket effektivt beskytter substratet mod kemiske angreb.

● Fremragende mekaniske egenskaber: TaC-belægning har høj hårdhed, høj slidstyrke og god termisk stødbestandighed og kan fungere stabilt i lang tid under barske arbejdsforhold.

● Fremragende vedhæftning: Belægningen er tæt bundet til grafitsubstratet, hvilket effektivt forhindrer belægningen i at skalle af og sikrer ensartet ydeevne i hele produktets levetid.

● Høj renhed: TaC-belægningen fremstillet af CVD har ekstrem høj renhed, som minimerer tilførslen af urenheder og giver et rent procesmiljø til halvlederfremstilling.

Fordele ved tantalcarbid belagte ringe:

● Forlænget levetid for udstyret: TaC-belægning blokerer effektivt kemiske reaktioner og diffusion af urenheder, hvilket forlænger levetiden for grafitkomponenter betydeligt og reducerer vedligeholdelsesomkostningerne.

● Forbedre produktionseffektiviteten: Produktets høje temperaturbestandighed og korrosionsbestandighed gør det muligt at fungere under mere krævende forhold, hvilket forkorter produktionscyklussen og øger produktionskapaciteten.

● Forbedret produktkvalitet: TaC-belægning med høj renhed hjælper med at reducere forurening, hvilket sikrer kvaliteten og konsistensen af halvlederprodukter.

VeTek Semiconductor har været specialiseret i TaC coating produkter som f.eksTaC Coating Chuck, TaC Coating Rotationsplade, TaC Coating Contractor, TaC coated wafer susceptori mange år. Vores TaC Coated ringprodukter har funktionerne Forlænget udstyrs levetid, Forbedret produktionseffektivitet og Forbedret produktkvalitet. Samtidig har VeTek Semiconductor længe været forpligtet til at levere avanceret teknologi og produktløsninger til halvlederindustrien.

På grund af grafit- og tantalcarbidmaterialernes forskellige kemiske egenskaber vil termisk udvidelseskoefficienten ikke stemme overens, og den er let at blive opvarmet til høj temperatur af Vetek halvleder gennem en specifik proces for at fremme dannelsen af tantalcarbidbelægning delvist aflejret på overfladen af matrixen, og penetrerede delvist ind i grafitmatrixen. På denne måde er tantalcarbidbelægningen tæt indlejret i grafitmatrixen gennem in-situ vækst, hvilket markant øger bindingskraften mellem belægningen og matrixen og effektivt forhindrer afskalning af tantalcarbidbelægningen. Vi håber inderligt at blive din langsigtet partner i Kina.

Tantalcarbide Coated Ringe butikker:

Tantalum Carbide Coated Rings shops