TaC coated wafer susceptor

eTek Semiconductor TaC Coated Wafer Susceptor er en grafitbakke belagt med tantalcarbid til epitaksial siliciumcarbidvækst for at forbedre waferkvalitet og ydeevne. VeTek er valgt på grund af sin avancerede belægningsteknologi og holdbare løsninger for at sikre fremragende SiC-epitaksiresultater og forlænget susceptorlevetid, velkommen til dine yderligere forespørgsler.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

VeTek Semiconductor TaC coated wafer susceptor er en nøglekomponent, der bruges iMetal-organisk kemisk dampaflejring (MOCVD)reaktorer tilhalvlederepitaksiale (epi) processer. Denne specialiserede runde base er lavet af grafit af høj kvalitet og er belagt med et lag af Tantalcarbide (TaC), som er kendt for sine exceptionelle termiske og kemiske egenskaber.

Den primære funktion af TaC-belægningen er at forbedre ydeevnen og holdbarheden af wafer-susceptoren under de barske forhold ved halvlederfremstilling. Tantalcarbide er berømt for sin hårdhed, høje smeltepunkt og enestående slidstyrke, hvilket gør det til det ideelle beskyttende lag. Denne belægning beskytter den underliggende grafitbase mod de korrosive kemiske reaktioner og mekaniske spændinger, der opstår inden forMOCVD reaktorer, forlænger udstyrets levetid og forbedrer pålideligheden.

Under den epitaksiale vækst af halvledermaterialer spiller den TaC-coatede wafer-susceptor en afgørende rolle ved at sikre præcis filmaflejring. Dets modstandsdygtighed over for høje temperaturer og barske kemiske miljøer er afgørende for den nøjagtige produktion af halvlederenheder, hvilket gør det muligt for udstyret at fungere stabilt under krævende procesforhold.

Kombinationen af engrafit kerneogTaC belægningsikrer ensartet varmefordeling over susceptoren, hvilket er essentielt for at forbedre repeterbarheden og kvaliteten af halvlederlag dyrket under MOCVD-processen. Dette avancerede materialedesign giver ikke kun holdbarhed, men opfylder også de strenge krav fra moderne halvlederfremstilling til højtydende elektroniske komponenter.

Som en førende leverandør og producent af TaC coated wafer susceptorer, er VeTek Semiconductor forpligtet til at levere højkvalitets tekniske løsninger til halvlederindustrien. Vi ser frem til at blive din langsigtede betroede partner i Kina, der tilbyder pålidelige, tilpassede produkter.

VeTek Semiconductor TaC coated wafer susceptor butikker:

TaC coated wafer susceptor shops