VeTek Semiconductor har specialiseret sig i produktion af ultrarene siliciumcarbidbelægningsprodukter, disse belægninger er designet til at blive påført på renset grafit, keramik og ildfaste metalkomponenter.
Vores belægninger med høj renhed er primært målrettet til brug i halvleder- og elektronikindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mod ætsende og reaktive miljøer, der opstår i processer som MOCVD og EPI. Disse processer er integrerede i waferbehandling og fremstilling af enheder. Derudover er vores belægninger velegnede til anvendelser i vakuumovne og prøveopvarmning, hvor der forekommer højvakuum, reaktive og oxygenmiljøer.
Hos VeTek Semiconductor tilbyder vi en omfattende løsning med vores avancerede maskinværkstedskapacitet. Dette gør os i stand til at fremstille basiskomponenterne ved hjælp af grafit, keramik eller ildfaste metaller og påføre SiC- eller TaC-keramiske belægninger internt. Vi leverer også belægningstjenester til kundeleverede dele, hvilket sikrer fleksibilitet til at imødekomme forskellige behov.
Vores siliciumcarbidbelægningsprodukter er meget udbredt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-proces, ætseproces, ICP/PSS-ætseproces, proces af forskellige LED-typer, herunder blå og grøn LED, UV LED og dyb-UV LED mm., som er tilpasset udstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.
Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning | |
Ejendom | Typisk værdi |
Krystal struktur | FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret |
SiC belægning Densitet | 3,21 g/cm³ |
SiC-belægningHårdhed | 2500 Vickers hårdhed (500 g belastning) |
Kornstørrelse | 2~10μm |
Kemisk renhed | 99,99995 % |
Varmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimeringstemperatur | 2700℃ |
Bøjestyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃ |
Termisk ledningsevne | 300W·m-1·K-1 |
Termisk udvidelse (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductors SiC Coated ICP Etching Carrier er designet til de mest krævende epitaksiudstyrsapplikationer. Lavet af højkvalitets ultrarent grafitmateriale, vores SiC Coated ICP Etching Carrier har en meget flad overflade og fremragende korrosionsbestandighed til at modstå de barske forhold under håndtering. Den høje termiske ledningsevne af den SiC-belagte bærer sikrer en jævn varmefordeling for fremragende ætseresultater. VeTek Semiconductor har etableret langsigtede samarbejdsrelationer med mange halvlederproducenter. Vi ser også frem til at opbygge et langsigtet partnerskab med dig.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductors PSS Etching Carrier Plate for Semiconductor er en højkvalitets, ultraren grafitbærer designet til waferhåndteringsprocesser. Vores bærere har fremragende ydeevne og kan fungere godt i barske miljøer, høje temperaturer og barske kemiske rengøringsforhold. Vores produkter er meget udbredt på mange europæiske og amerikanske markeder, og vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina. Du er velkommen til at komme til Kina for at besøge vores fabrik og lære mere om vores teknologi og produkter.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en førende Rapid Thermal Annealing Susceptor-producent og -leverandør i Kina, med fokus på at levere højtydende løsninger til halvlederindustrien. Vi har mange års dyb teknisk ophobning inden for SiC-belægningsmaterialer. Vores Rapid Thermal Annealing Susceptor har fremragende modstandsdygtighed over for høje temperaturer og fremragende termisk ledningsevne for at imødekomme behovene ved wafer epitaksial fremstilling. Du er velkommen til at besøge vores fabrik i Kina for at lære mere om vores teknologi og produkter.
Læs mereSend forespørgselSiliciumbaseret GaN Epitaxial Susceptor er den kernekomponent, der kræves til GaN Epitaxial produktion. VeTek Semiconductor, som en professionel producent og leverandør, er forpligtet til at levere højkvalitets siliciumbaseret GaN Epitaxial Susceptor. Vores siliciumbaserede GaN Epitaxial Susceptor er designet til siliciumbaserede GaN Epitaxial reaktorsystemer og har høj renhed, fremragende højtemperaturbestandighed og korrosionsbestandighed. VeTek Semiconductor er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, velkommen til at spørge.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en førende producent af halvlederudstyr i Kina, der fokuserer på R&D og produktion af 8 tommer Halfmoon Part til LPE-reaktor. Vi har akkumuleret rig erfaring gennem årene, især inden for SiC-belægningsmaterialer, og er forpligtet til at levere effektive løsninger skræddersyet til LPE-epitaksiale reaktorer. Vores 8 tommer halvmånedel til LPE-reaktor har fremragende ydeevne og kompatibilitet og er en uundværlig nøglekomponent i epitaksial fremstilling. Velkommen din forespørgsel for at lære mere om vores produkter.
Læs mereSend forespørgselSiC Coated Pancake Susceptor til LPE PE3061S 6'' wafers er en af kernekomponenterne, der bruges i 6'' wafers epitaksial wafer-behandling. VeTek Semiconductor er i øjeblikket en førende producent og leverandør af SiC Coated Pancake Susceptor til LPE PE3061S 6'' wafere i Kina. Den SiC Coated Pancake Susceptor, den giver, har fremragende egenskaber såsom høj korrosionsbestandighed, god termisk ledningsevne og god ensartethed. Ser frem til din forespørgsel.
Læs mereSend forespørgsel