Grafitring med høj renhed er velegnet til GaN epitaksiale vækstprocesser. Deres fremragende stabilitet og overlegne ydeevne har gjort dem meget brugte. VeTek Semiconductor producerer og producerer verdensførende grafitring med høj renhed for at hjælpe GaN-epitaxiindustrien med at fortsætte fremskridt. VeTekSemi ser frem til at blive din partner i Kina.
Processen medGaN epitaksialvækst udføres i et ætsende miljø med høj temperatur. Den varme zone i GaN-epitaksialvækstovnen er sædvanligvis udstyret med varmebestandige og korrosionsbestandige grafitdele med høj renhed, såsom varmelegemer, digler, grafitelektroder, digelholdere, elektrodemøtrikker osv. Grafitringtætning er en af de vigtige dele.
VeTek Semiconductors High-purity grafitring er lavet af ren grafit med ekstrem høj renhed, og askeindholdet i det færdige produkt kan være <5PPM.
Og grafitringene har karakteristika for høj temperaturbestandighed og korrosionsbestandighed, god elektrisk og termisk ledningsevne, kemisk stabilitet og termisk stødbestandighed, hvilket gør dem velegnede til brug i GaN epitaksiale vækstovne.
VeTek Semiconductors grafitringe med høj renhed er lavet af grafit af højeste kvalitet, med stabil ydeevne og lang levetid. Hvis du har brug for at udføre GaN epitaksial vækst, er vores højrente grafitringe det bedste valg af grafitdele.
VeTek Semiconductor kan give kunderne meget tilpassede produkter, uanset om det er ringens størrelse eller materiale, det kan opfylde kundernes forskellige krav. Vi afventer din konsultation til enhver tid.
Materialedata for SGL 6510 grafit
Typiske egenskaber
Enheder
Test standarder
Værdier
Gennemsnitlig kornstørrelse
μm
ISO 13320
10
Bulkdensitet
g/cm3
FRA IEC 60413/204
1.83
Åben porøsitet
Vol.%
DIN 66133
10
Mellem poreindgangsdiameter
μm
DIN 66133
1.8
Permeabilitetskoefficient (omgivelsestemperatur)
cm2/s
FRA 51935
0.06
Rockwell hårdhed HR5/100
\
FRA IEC 60413/303
90
Resistivitet
μΩm
FRA IEC 60413/402
13
Bøjningsstyrke
MPa
FRA IEC 60413/501
60
Trykstyrke
MPa
DIN 51910
130
Dynamisk elasticitetsmodul
MPa
DIN 51915
11,5 x 103
Termisk udvidelse (20-200 ℃)
K-1
DIN 51909
4,2x10-6
Termisk ledningsevne(20℃)
Wm-1K-1
DIN 51908
105
Askeindhold
ppm
DIN 51903
\
Vetek Semiconductor Høj renhed grafitring produktbutikker: