Hurtig termisk udglødningssusceptor

VeTek Semiconductor er en førende Rapid Thermal Annealing Susceptor producent og innovator i Kina. Vi har været specialiseret i SiC belægningsmateriale i mange år.Vi tilbyder Rapid Thermal Annealing Susceptor med høj kvalitet, høj temperatur modstand, super tynd.Vi byder dig velkommen til at besøge vores fabrik i Kina.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

VeTek Semiconductor Rapid Thermal Annealing Susceptor er med høj kvalitet og lang levetid, velkommen til at forespørge os.

Rapid Thermal Anneal (RTA) er en afgørende delmængde af Rapid Thermal Processing, der bruges til fremstilling af halvlederenheder. Det involverer opvarmning af individuelle wafere for at ændre deres elektriske egenskaber gennem forskellige målrettede varmebehandlinger. RTA-processen muliggør aktivering af dopingmidler, ændring af film-til-film eller film-til-wafer-substratgrænseflader, fortætning af aflejrede film, modifikation af voksende filmtilstande, reparation af ionimplantationsskader, dopingmiddelbevægelse og drivning af dopingmidler mellem film. eller ind i wafer-substratet.

VeTek Semiconductor-produkt, Rapid Thermal Annealing Susceptor, spiller en afgørende rolle i RTP-processen. Den er konstrueret af højrent grafitmateriale med en beskyttende belægning af inert siliciumcarbid (SiC). Det SiC-belagte siliciumsubstrat kan modstå temperaturer op til 1100°C, hvilket sikrer pålidelig ydeevne selv under ekstreme forhold. SiC-belægningen giver fremragende beskyttelse mod gaslækage og partikelafgivelse, hvilket sikrer produktets levetid.

For at opretholde præcis temperaturkontrol er chippen indkapslet mellem to højrent grafitkomponenter belagt med SiC. Nøjagtige temperaturmålinger kan opnås gennem integrerede højtemperatursensorer eller termoelementer i kontakt med underlaget.

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning:

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning
Ejendom	Typisk værdi
Krystal struktur	FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret
Massefylde	3,21 g/cm³
Hårdhed	2500 Vickers hårdhed (500 g belastning)
Kornstørrelse	2~10μm
Kemisk renhed	99,99995 %
Varmekapacitet	640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur	2700℃
Bøjningsstyrke	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃
Varmeledningsevne	300W·m-1·K-1
Termisk ekspansion (CTE)	4,5×10-6K-1