VeTek Semiconductor har specialiseret sig i produktion af ultrarene siliciumcarbidbelægningsprodukter, disse belægninger er designet til at blive påført på renset grafit, keramik og ildfaste metalkomponenter.
Vores belægninger med høj renhed er primært målrettet til brug i halvleder- og elektronikindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mod ætsende og reaktive miljøer, der opstår i processer som MOCVD og EPI. Disse processer er integrerede i waferbehandling og fremstilling af enheder. Derudover er vores belægninger velegnede til anvendelser i vakuumovne og prøveopvarmning, hvor der forekommer højvakuum, reaktive og oxygenmiljøer.
Hos VeTek Semiconductor tilbyder vi en omfattende løsning med vores avancerede maskinværkstedskapacitet. Dette gør os i stand til at fremstille basiskomponenterne ved hjælp af grafit, keramik eller ildfaste metaller og påføre SiC- eller TaC-keramiske belægninger internt. Vi leverer også belægningstjenester til kundeleverede dele, hvilket sikrer fleksibilitet til at imødekomme forskellige behov.
Vores siliciumcarbidbelægningsprodukter er meget udbredt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-proces, ætseproces, ICP/PSS-ætseproces, proces af forskellige LED-typer, herunder blå og grøn LED, UV LED og dyb-UV LED mm., som er tilpasset udstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.
Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning | |
Ejendom | Typisk værdi |
Krystal struktur | FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret |
Tæthed | 3,21 g/cm³ |
Hårdhed | 2500 Vickers hårdhed (500 g belastning) |
Kornstørrelse | 2~10μm |
Kemisk renhed | 99,99995 % |
Varmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
Bøjestyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃ |
Termisk ledningsevne | 300W·m-1·K-1 |
Termisk ekspansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor er en professionel producent, leverandør og eksportør af SiC-belagt grafittønde-susceptor til EPI. Understøttet af et professionelt team og førende teknologi kan VeTek Semiconductor give dig høj kvalitet til rimelige priser. vi byder dig velkommen til at besøge vores fabrik for yderligere diskussion.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor har mange års erfaring i produktion af højkvalitets SiC-belagt grafitdigeldeflektor. Vi har eget laboratorium for materiale forskning og udvikling, kan understøtte dine brugerdefinerede designs med overlegen kvalitet. vi byder dig velkommen til at besøge vores fabrik for mere diskussion.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en professionel producent og leverandør, som er dedikeret til at levere højkvalitets MOCVD Epitaxial Susceptor til 4" Wafer. Med rig industrierfaring og et professionelt team er vi i stand til at levere eksperter og effektive løsninger til vores kunder.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en professionel producent og leverandør, dedikeret til at levere højkvalitets GaN Epitaxial Graphite susceptor til G5. vi har etableret langsigtede og stabile partnerskaber med adskillige velkendte virksomheder i ind- og udland, hvilket tjener vores kunders tillid og respekt.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductors Semiconductor susceptor blok SiC coated er en yderst pålidelig og holdbar enhed. Den er designet til at modstå høje temperaturer og barske kemiske miljøer, samtidig med at den opretholder en stabil ydeevne og en lang levetid. Med sine fremragende procesegenskaber reducerer Semiconductor Susceptor Block SiC Coated hyppigheden af udskiftning og vedligeholdelse og forbedrer dermed produktionseffektiviteten. Vi ser frem til muligheden for at samarbejde med dig.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en førende leverandør af tilpasset Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon i Kina, med speciale i avancerede materialer i mange år. Vores Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon er specielt designet til SiC epitaksialt udstyr, hvilket sikrer fremragende ydeevne. Fremstillet af ultra-ren importeret grafit giver den pålidelighed og holdbarhed. Besøg vores fabrik i Kina for at udforske vores højkvalitets Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon på egen hånd.
Læs mereSend forespørgsel