CVD SiC belægning Epitaksi susceptor

VeTek Semiconductors CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor er et præcisionskonstrueret værktøj designet til håndtering og behandling af halvlederwafers. Denne SiC Coating Epitaxy Susceptor spiller en afgørende rolle i at fremme væksten af tynde film, epilag og andre belægninger og kan præcist kontrollere temperatur og materialeegenskaber. Velkommen til dine yderligere forespørgsler.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor er en typeMOCVD LED Epi Suceptor, som spiller en central rolle i CVD-reaktoren. Som en Epi Susceptor er den ikke kun en varmekilde, men giver også en stabil støtteplatform for substratet under aflejringsprocessen.SiC belægningkan effektivt reducere oxidationen og kontamineringen af Graphite Susceptor i højtemperaturmiljøer og derved sikre den høje renhed af det aflejrede materiale.

Grundlæggendefysiske egenskaber af CVD SiC belægning:

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning
Ejendom	Typisk værdi
Krystal struktur	FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret
Tæthed	3,21 g/cm³
Hårdhed	2500 Vickers hårdhed (500 g belastning)
Kornstørrelse	2~10μm
Kemisk renhed	99,99995 %
Varmekapacitet	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Bøjestyrke	415 MPa RT 4-punkt
Youngs modul	430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃
Termisk ledningsevne	300W·m^-1·K^-1
Termisk udvidelse (CTE)	4,5×10^-6K^-1

CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor Produktfordele:

● Præcis aflejring: Med CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor kan du opnå præcis kontrolleret aflejring af tynde film og belægninger for at opnå høj kvalitet og gentagelige resultater.

● Reduceret forurening: SiC belægning minimerer risikoen for kontaminering fraEpi Suceptorbaseret grafit, der sikrer renheden af det aflejrede materiale.

● Holdbarhed: SiC-belægning forbedrer oxidationsmodstanden og kemisk korrosionsbestandighed af Graphite Epitaxy Susceptor, hvilket giver den en længere levetid og højere pålidelighed.

VeTek Semiconductorer forpligtet til at levere produkter af høj kvalitet og konkurrencedygtige priser. Om det erHvis EPI-modtagereneller High purity Graphite EPI Susceptor, kan vi opfylde dine behov. Vi ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.

VeTek SemiconductorCVD SiC Coating Epitaxy Susceptor Produktbutikker: