SiC belægning Monokrystallinsk silicium epitaksial bakke er et vigtigt tilbehør til monokrystallinsk silicium epitaksial vækstovn, hvilket sikrer minimal forurening og stabilt epitaksial vækstmiljø. VeTek Semiconductors SiC-belægning Monokrystallinsk silicium-epitaksialbakke har en ultralang levetid og giver en række tilpasningsmuligheder. VeTek Semiconductor ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
VeTek semiconductors SiC-belægning Monokrystallinsk siliciumepitaksialbakke er specielt designet til monokrystallinsk siliciumepitaksial vækst og spiller en vigtig rolle i den industrielle anvendelse af monokrystallinsk siliciumepitaksi og relaterede halvlederenheder.SiC belægningforbedrer ikke kun bakkens temperaturbestandighed og korrosionsbestandighed markant, men sikrer også langsigtet stabilitet og fremragende ydeevne i ekstreme miljøer.
● Høj varmeledningsevne: SiC-belægning forbedrer i høj grad bakkens termiske styringsevne og kan effektivt sprede den varme, der genereres af enheder med høj effekt.
● Korrosionsbestandighed: SiC-belægning fungerer godt i høje temperaturer og korrosive miljøer, hvilket sikrer langsigtet levetid og pålidelighed.
● Overfladeens ensartethed: Giver en flad og glat overflade, der effektivt undgår fabrikationsfejl forårsaget af overfladeujævnheder og sikrer stabiliteten af epitaksial vækst.
Ifølge forskning, når porestørrelsen af grafitsubstratet er mellem 100 og 500 nm, kan en SiC-gradientbelægning fremstilles på grafitsubstratet, og SiC-belægningen har en stærkere antioxidationsevne. oxidationsmodstanden af SiC-belægningen på denne grafit (trekantkurve) er meget stærkere end andre specifikationer af grafit, velegnet til vækst af enkeltkrystal siliciumepitaksi. VeTek Semiconductors SiC-belægning Monokrystallinsk silicium-epitaksialbakke bruger SGL-grafit somgrafit substrat, som er i stand til at opnå en sådan ydeevne.
VeTek Semiconductors SiC-belægning Monokrystallinsk epitaksial siliciumbakke bruger de bedste materialer og den mest avancerede behandlingsteknologi. Vigtigst af alt, uanset hvilke produkttilpasningsbehov kunder har, kan vi gøre vores bedste for at imødekomme dem.
Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning
Ejendom
Typisk værdi
Krystal struktur
FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret
Tæthed
3,21 g/cm³
Hårdhed
2500 Vickers hårdhed (500 g belastning)
Korn Size
2~10μm
Kemisk renhed
99,99995 %
Varmekapacitet
640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur
2700 ℃
Bøjestyrke
415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul
430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃
Termisk ledningsevne
300W·m-1·K-1
Termisk ekspansion (CTE)
4,5×10-6K-1