Halvleder kvarts båd

I halvlederprocessen er transporten af wafere særlig vigtig. Halvlederkvartsbåde er meget gode til at transportere wafers og er velegnede til processer som diffusion, oxidation og CVD. VeTek Semiconductor er en førende producent og leverandør af halvlederkvartsbåde i Kina, og er i stand til at give kunderne meget tilpassede produkter. Velkommen til din yderligere konsultation.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Halvlederkvartsbåd er et kvartsprodukt med høj renhed, der bruges i halvlederfremstillingsprocessen. Dens hovedfunktion er at bære og overføre wafers i højtemperaturovne. Det er meget udbredt i præcisionsindustrier såsom halvledere, optoelektronik og LED'er. Velegnet til diffusion, oxidation, CVD og andre processer.

Semiconductor quartz boat working diagram

Produktegenskaber:

• Høj renhed: Halvlederkvartsbåd bruger højrent kvartsmateriale med ekstremt lavt urenhedsindhold, hvilket effektivt undgår metalionforurening og er velegnet til de rene miljøkrav i halvlederprocesser.

• Høj temperatur modstand: Den har fremragende højtemperaturbestandighed og kan bruges stabilt i lang tid i et miljø op til 1200 ℃.

• Korrosionsbestandighed: Det har god korrosionsbestandighed over for de fleste kemiske reagenser såsom syrer og baser, så det kan tilpasse sig det kemiske miljø i halvlederudstyr såsom CVD-ovne.

•God termisk stabilitet: Lav termisk udvidelseskoefficient, ikke let at deformere ved opvarmning, velegnet til hyppige opvarmnings- og afkølingsprocesser.

Parametre	Specifikationer
Materiale	Kvarts med høj renhed
Udvendig diameter	Tilpasset efter behov
Længde	Tilpasset efter behov
Termisk stabilitet	Stabil drift ved 1200°C

Specifikationer

• Forbedre produktionseffektiviteten: Kompakt design, nem waferoverførsel og forbedret proceskapacitet.

• Reducer risikoen for forurening: højrent kvartsmateriale, der reducerer spor af urenheder i processen.

• Lang levetid og holdbarhed: høj temperatur- og korrosionsbestandighed, velegnet til højfrekvent brug, hvilket reducerer udskiftningsomkostningerne.

Vetek Semiconductor er forpligtet til at give kunderne højkvalitetsprodukter med høj renhed af kvartsbåde. Alle produkter er strengt kvalitetskontrolleret for at sikre, at de opfylder de høje standarder i halvlederindustrien.