Halvleder Quartz Bell Jar

FrøHalvlederKvartsklokkekrukkespiller flere nøgleroller i halvlederbehandling. de klokkeslange vakuumsystemgiver ikke kun et stabilt og kontrolleret reaktionsmiljø, men sikrer også effektiviteten og præcisionen af ​​forskellige processer gennem sin fremragende termiske stabilitet, kemiske inertitet og optiske gennemsigtighed. Disse egenskaber bestemmer også detklokke vakuum kammerer et uundværligt komponentprodukt i halvlederfremstillingsprocessen.

FrøHalvleder kvarts skaber et forseglet behandlingsmiljø, der gør det muligt for procesgasser at blive jævnt fordelt og reagere med waferoverfladen under kontrollerede forhold. Derfor,Halvleder Kvartsklokkekrukkebruges normalt i processer som CVD, diffusion og oxidation for nøjagtigt at kontrollere atmosfærens sammensætning og tryk, og derved sikre ensartetheden af ​​filmen og materialets renhed.

Samtidig har kvartsmaterialer fremragende termisk stabilitet, høj temperaturbestandighed (højtemperaturmiljøet i halvlederbehandling er normalt så højt som 1000 °C eller mere) og produktegenskaber for at opretholde stabil form og størrelse under opvarmning og afkøling. Dette afgør, atKvartsklokkekrukkekan fuldt ud sikre ensartetheden af ​​waferoverfladetemperaturen i højtemperaturmiljøet af diffusion og oxidation, hvorved kvaliteten og ensartetheden af ​​det aflejrede eller diffuserede lag forbedres.

Endnu vigtigere,FrøSemiconductor kvarts med høj renhed er ikke let at reagere med procesgasser i højtemperaturmiljøer og har stærk korrosionsbestandighed. Denne produktkarakteristik bestemmer, at i processer, der anvender ætsende gasser (såsom nogle CVD-processer),Halvleder Kvartsklokkekrukkekan fuldt ud opretholde kemisk stabilitet og derved undgå forurening af halvlederenheder.

VeTek SemiconductorKvartsklokkekrukke:

Oversigt over halvlederchip-epitaksi-industrikæden: