ALD Fused Quartz Piedestal

VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz Piedestal spiller en nøglerolle i halvlederfremstillingsprocessen som en støttestruktur forkvartsbåd, som bruges til at holdeoblat. Fused Quartz Piedestal hjælper med at opnå ensartet filmaflejring ved at opretholde en stabil temperatur, hvilket direkte påvirker ydeevnen og pålideligheden af ​​halvlederenheder. Derudover sikrer Quartz Pedestal ensartet fordeling af varme og lys i proceskammeret og forbedrer derved den overordnede kvalitet af deponeringsprocessen.

ALD Fused Quartz Piedestal Materiale Fordele

Høj temperatur modstand: Blødgøringspunktet for smeltet kvartssokkel er så højt som omkring 1730°C, og det kan modstå højtemperaturdrift på 1100°C til 1250°C i lang tid og kan udsættes for ekstreme temperaturmiljøer op til 1450°C i kort tid.

Fremragende korrosionsbestandighed: Sammensmeltet kvarts er meget kemisk inert over for næsten alle syrer undtagen flussyre. Dens syrebestandighed er 30 gange højere end keramik og 150 gange højere end rustfrit stål. Sammensmeltet kvarts er kemisk uovertruffen ved høje temperaturer, hvilket gør det til et ideelt materiale til komplekse kemiske processer.

Termisk stabilitet: Et nøgletræk ved Fused Quartz Piedestal-materialet er dets ekstremt lave termiske udvidelseskoefficient. Det betyder, at den nemt kan klare dramatiske temperaturudsving uden at revne. For eksempel kan smeltet silicakvarts hurtigt opvarmes til 1100°C og nedsænkes direkte i koldt vand uden at beskadige, hvilket er en vigtig egenskab under høje belastningsfremstillingsforhold.

Strenge fremstillingsproces: Produktionsprocessen for fused silica piedestals overholder strengt høje kvalitetsstandarder. Produktionsprocessen bruger varmformnings- og svejseprocesser, som normalt udføres i et klasse 10.000 renrumsmiljø. Bagefter rengøres den smeltede kvartsglassokkel grundigt med ultrarent vand (18 MΩ) for at sikre produktets renhed og optimal ydeevne. Hvert færdigt produkt bliver grundigt inspiceret, renset og pakket i et renrum i klasse 1.000 eller højere for at opfylde de høje standarder for halvlederindustrien.

Uigennemsigtigt silicakvartsmateriale med høj renhed

VeTeksemi ALD Fused Quartz Pedestal bruger uigennemsigtigt kvartsmateriale med høj renhed til effektivt at isolere varme og lys. Dens fremragende varmeafskærmende og lysafskærmende egenskaber gør det muligt for den at opretholde ensartet temperaturfordeling i proceskammeret, hvilket sikrer ensartethed og konsistens af tynde.filmaflejringpå waferoverfladen.

Ansøgningsfelter

Fusede kvarts piedestaler er meget udbredt i mange områder af halvlederindustrien på grund af deres fremragende ydeevne. I denatomic layer deposition (ALD) proces, det understøtter præcis kontrol af filmvækst og sikrer fremskridt for halvlederenheder. I denlavtryks kemisk dampaflejring (LPCVD) proces, den termiske stabilitet og lysafskærmningsevnen af ​​højrent kvarts-sokkel giver garantier for ensartet aflejring af tynde film og forbedrer derved enhedens ydeevne og udbytte.

I diffusionswafer-processen sikrer højtemperaturbestandigheden og den kemiske korrosionsbestandighed af Fused Quartz Pedestal desuden pålideligheden og konsistensen af ​​halvledermateriale-dopingprocessen. Disse nøgleprocesser bestemmer den elektriske ydeevne af halvlederenheder, og højkvalitets Fused Quartz-materialer spiller en uundværlig rolle for at opnå de bedste resultater af disse processer.

VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz Piedestal butikker: