Hvad er CVD TAC Coating?

Som vi alle ved,TaChar et smeltepunkt på op til 3880°C, høj mekanisk styrke, hårdhed, termisk stødmodstand; god kemisk inertitet og termisk stabilitet over for ammoniak, brint, siliciumholdig damp ved høje temperaturer.

Tantalcarbid belægning på et mikroskopisk tværsnit

CVD TAC belægning, kemisk dampaflejring (CVD) aftantalcarbid (TaC) belægning, er en proces til dannelse af en højdensitet og holdbar belægning på et substrat (normalt grafit). Denne metode involverer aflejring af TaC på overfladen af ​​substratet ved høje temperaturer, hvilket resulterer i en belægning med fremragende termisk stabilitet og kemisk resistens.

De vigtigste fordele ved CVD TaC-belægninger omfatter:

Ekstremt høj termisk stabilitet: kan modstå temperaturer over 2200°C.

Kemisk resistens: kan effektivt modstå skrappe kemikalier som brint, ammoniak og siliciumdamp.

Stærk vedhæftning: sikrer langvarig beskyttelse uden delaminering.

Høj renhed: minimerer urenheder, hvilket gør den ideel til halvlederapplikationer.

Disse belægninger er særligt velegnede til miljøer, der kræver høj holdbarhed og modstandsdygtighed over for ekstreme forhold, såsom halvlederfremstilling og industrielle processer ved høje temperaturer.

I industriel produktion er det meget sandsynligt, at grafit (carbon-carbon-komposit)-materialer belagt med TaC-belægning erstatter traditionel højrent grafit, pBN-belægning, SiC-belægningsdele osv. Derudover har TaC inden for rumfart et stort potentiale for at bruges som en højtemperatur-antioxidations- og anti-ablationsbelægning og har brede anvendelsesmuligheder. Der er dog stadig mange udfordringer for at opnå fremstilling af tæt, ensartet, ikke-flagende TaC-belægning på overfladen af ​​grafit og fremme industriel masseproduktion.

I denne proces er det afgørende for tredje generation at udforske belægningens beskyttelsesmekanisme, forny produktionsprocessen og konkurrere med det øverste udenlandske niveau.halvlederkrystalvækst og epitaksi.

VeTek Semiconductor er en professionel kinesisk producent af CVD Tantalcarbide Coating-produkter, som f.eksCVD TaC belægningsdigel, CVD TaC Coating Wafer Carrier, CVD TaC Coating Carrier,CVD TaC Coating Cover, CVD TaC belægningsring. VeTek Semiconductor er forpligtet til at levere avancerede løsninger til forskellige belægningsprodukter til halvlederindustrien.

Hvis du har spørgsmål eller brug for yderligere detaljer, så tøv ikke med at kontakte os.

Mob/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

E-mail: anny@veteksemi.com