EPI-modtager

VeTek Semiconductors EPI-susceptor er designet til krævende epitaksialudstyrsapplikationer. Dens højrent siliciumcarbid (SiC) belagt grafitstruktur tilbyder fremragende varmebestandighed, ensartet termisk ensartethed for ensartet epitaksial lagtykkelse og modstand og langvarig kemisk resistens. Vi ser frem til at samarbejde med dig.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

VeTek Semiconductor er en professionel førende Kina EPI-modtager, ALD Planetary Receiver og TaC Coated Graphite Receiver-producent. og vores EPI-susceptor er en vigtig komponent afepitaksial vækstI halvlederfremstillingsprocessen. Dens hovedfunktion er at støtte og opvarme waferen, så et epitaksielt lag af høj kvalitet kan dyrkes ensartet på waferens overflade.

VeTek Semiconductors' EPI-susceptorer er normalt lavet af højrent grafit og belagt med et lag siliciumcarbid (SiC).Dette design har følgende nøglefordele:

● Høj temperaturstabilitet: EPI-susceptoren kan forblive stabil i et højtemperaturmiljø, hvilket sikrer en ensartet vækst af det epitaksiale lag.

● Korrosionsbestandighed: SiC-belægningen har fremragende korrosionsbestandighed og kan modstå erosion af kemiske gasser, hvilket forlænger bakkens levetid.

● Termisk ledningsevne: SiC-materialets høje termiske ledningsevne sikrer ensartet temperaturfordeling af waferen under opvarmning og forbedrer derved kvaliteten af det epitaksiale lag.

● Tilpasning af termisk ekspansionskoefficient: Den termiske udvidelseskoefficient for SiC svarer til den for grafit, hvilket undgår problemet med belægningsaffald på grund af termisk udvidelse og sammentrækning.