Silikone piedestal

VeTek Semiconductor silicium susceptor er et rent silicium produkt designet til at sikre temperaturstabilitet i det termiske reaktorrør under silicium wafer behandling og derved forbedre termisk isoleringseffektivitet. Forarbejdning af siliciumwafer er en ekstremt præcis proces, og temperaturen spiller en afgørende rolle, der direkte påvirker tykkelsen og ensartetheden af ​​siliciumwaferfilmen.

Siliciumsøjlen er placeret i den nederste del af ovnens termiske reaktorrør og understøtter siliciumetwaferbærersamtidig med at den giver effektiv varmeisolering. Ved afslutningen af ​​processen afkøles det gradvist til omgivelsestemperatur sammen med siliciumwafer-bæreren.

Kernefunktioner og fordele ved VeTek Semiconductor Silicon Piedestals:

Giv stabil støtte for at sikre procesnøjagtighed

Siliciumsøjlen giver en stabil og meget varmebestandig støtteplatform til siliciumbåden i højtemperaturovnskammeret. Denne stabilitet kan effektivt forhindre siliciumbåden i at flytte sig eller vippe under bearbejdningen, og derved undgå at påvirke ensartetheden af ​​luftstrømmen eller ødelægge temperaturfordelingen, hvilket sikrer høj præcision og konsistens i processen.

Forbedre temperaturens ensartethed i ovnen og forbedre waferkvaliteten

Ved at isolere siliciumbåden fra direkte kontakt med ovnbunden eller væggen kan siliciumbasen reducere varmetab forårsaget af ledning og derved opnå en mere ensartet temperaturfordeling i det termiske reaktionsrør. Dette ensartede termiske miljø er afgørende for at opnå ensartethed af wafer-diffusion og oxidlag, hvilket i høj grad forbedrer waferens overordnede kvalitet.

Optimer termisk isoleringsydelse og reducer energiforbruget

Siliciumbasismaterialets fremragende varmeisoleringsegenskaber hjælper med at reducere varmetabet i ovnkammeret og forbedrer derved processens energieffektivitet betydeligt. Denne effektive termiske styringsmekanisme fremskynder ikke kun opvarmnings- og afkølingscyklussen, men reducerer også energiforbruget og driftsomkostningerne, hvilket giver en mere økonomisk løsning til halvlederfremstilling.

Specifikationer for VeTek Semiconductor Silicon Piedestal

VeTek Semiconductor Silicon Piedestal produktionsbutikker