VeTek Semiconductor er professionel producent og leverandør i Kina til SiC-belagt siliciumcarbid wafer-båd, med mange års erfaring inden for R&D og produktion, kan kontrollere kvaliteten godt og tilbyde en konkurrencedygtig pris. Velkommen til at besøge vores fabrik og have yderligere diskussion om samarbejde.
VeTek Semiconductor er en kinesisk producent og leverandør, der hovedsageligt producerer SiC Coated Silicium Carbide Wafer Boat med mange års erfaring. Håber at opbygge forretningsforbindelser med dig. SiC-belagt siliciumcarbid waferbåd bruges i halvlederdiffusionsovne til at bære wafere til forskellige højtemperaturprocesser såsom ionimplantation, diffusion og udglødning. Det kan give et stabilt miljø for waferne, hvilket sikrer ensartet temperatur og konsistens under forarbejdning.
SiC-belagte siliciumcarbid waferbåde har højere varmebestandighed og kemisk stabilitet, hvilket gør det muligt for dem at operere ved højere temperaturer og give længere levetid. Derudover har de lavere materialefordampningshastigheder og gasadsorptionshastigheder, hvilket hjælper med at reducere virkningen af urenheder på waferbehandling.
Vi kan fremstille forskellige typer af siliciumcarbid waferbåde såsom vandret waferbåd, vertikal waferbåd og andre tilpassede både.
1. Høj temperatur stabilitet
2.Kemisk inerthed
3. Lavt urenhedsindhold
4. Termisk ledningsevne
Fysiske egenskaber af omkrystalliseret siliciumcarbid | |
Ejendom | Typisk værdi |
Arbejdstemperatur (°C) | 1600°C (med ilt), 1700°C (reducerende miljø) |
SiC indhold | > 99,96 % |
Gratis Si-indhold | < 0,1 % |
Bulkdensitet | 2,60-2,70 g/cm3 |
Tilsyneladende porøsitet | < 16 % |
Kompressionsstyrke | > 600 MPa |
Koldbøjningsstyrke | 80-90 MPa (20°C) |
Varmbøjningsstyrke | 90-100 MPa (1400°C) |
Termisk ekspansion ved 1500°C | 4,70 10-6/°C |
Termisk ledningsevne @1200°C | 23 W/m•K |
Elastikmodul | 240 GPa |
Termisk stødmodstand | Yderst god |