Halvleder termisk sprøjteteknologi

Semiconductor termisk sprøjteteknologi er en avanceret proces, der sprøjter materialer i smeltet eller halvsmeltet tilstand på overfladen af ​​et substrat for at danne en belægning. Denne teknologi er meget udbredt inden for halvlederfremstilling, hovedsagelig brugt til at skabe belægninger med specifikke funktioner på overfladen af ​​substratet, såsom ledningsevne, isolering, korrosionsbestandighed og oxidationsmodstand. De vigtigste fordele ved termisk sprøjteteknologi omfatter høj effektivitet, kontrollerbar belægningstykkelse og god belægningsvedhæftning, hvilket gør det særligt vigtigt i halvlederfremstillingsprocessen, der kræver høj præcision og pålidelighed.

Anvendelse af termisk sprøjteteknologi i halvledere

Plasmastråleætsning (tørætsning)

Henviser sædvanligvis til brugen af ​​glødeudladning til at generere plasmaaktive partikler, der indeholder ladede partikler såsom plasma og elektroner og meget kemisk aktive neutrale atomer og molekyler og frie radikaler, som diffunderer til den del, der skal ætses, reagerer med det ætsede materiale, danner flygtige produkter og fjernes, hvorved ætsningsteknologien til mønsteroverførsel fuldendes. Det er en uerstattelig proces til at realisere high-fidelity-overførsel af fine mønstre fra fotolitografiske skabeloner til wafere i produktionen af ​​ultra-storskala integrerede kredsløb.

Et stort antal aktive frie radikaler såsom Cl og F vil blive genereret. Når de ætser halvlederenheder, korroderer de de indre overflader af andre dele af udstyret, herunder aluminiumslegeringer og keramiske strukturelle dele. Denne stærke erosion producerer et stort antal partikler, som ikke kun kræver hyppig vedligeholdelse af produktionsudstyr, men også forårsager svigt i ætseproceskammeret og beskadigelse af enheden i alvorlige tilfælde.

Y2O3 er et materiale med meget stabile kemiske og termiske egenskaber. Dens smeltepunkt er langt over 2400 ℃. Det kan forblive stabilt i et stærkt ætsende miljø. Dens modstand mod plasmabombardement kan i høj grad forlænge komponenternes levetid og reducere partikler i ætsekammeret.

Den almindelige løsning er at sprøjte Y2O3-belægning med høj renhed for at beskytte ætsekammeret og andre nøglekomponenter.