CVD SiC fokusring

Som grundlaget for moderne elektroniske enheder og informationsteknologi er halvlederteknologi blevet en uundværlig del af nutidens samfund. Fra smartphones til computere, kommunikationsudstyr, medicinsk udstyr og solceller, næsten alle moderne teknologier er afhængige af fremstilling og anvendelse af halvlederenheder.

Da kravene til funktionel integration og ydeevne af elektroniske enheder fortsætter med at stige, udvikler og forbedres halvlederprocesteknologien sig også konstant. Som kerneleddet i halvlederteknologi bestemmer ætseprocessen direkte enhedens struktur og karakteristika.

Ætsningsprocessen bruges til nøjagtigt at fjerne eller justere materialet på overfladen af ​​halvlederen for at danne den ønskede struktur og kredsløbsmønster. Disse strukturer bestemmer ydeevnen og funktionaliteten af ​​halvlederenheder. Ætsningsprocessen er i stand til at opnå præcision på nanometerniveau, som er grundlaget for fremstilling af højdensitet, højtydende integrerede kredsløb (IC'er).

CVD SiC Focus Ring er en kernekomponent i tørætsning, hovedsagelig brugt til at fokusere plasma for at få den til at have højere tæthed og energi på waferoverfladen. Det har den funktion at fordele gassen jævnt. VeTek Semiconductor vokser SiC lag for lag gennem CVD-processen og opnår endelig CVD SiC Focus Ring. Den forberedte CVD SiC Focus Ring kan perfekt opfylde kravene til ætseprocessen.

CVD SiC Focus Ring er fremragende i mekaniske egenskaber, kemiske egenskaber, termisk ledningsevne, høj temperaturbestandighed, ionætsningsmodstand mv.

● Høj tæthed reducerer ætsningsvolumen

● Høj båndspalte og fremragende isolering

● Høj varmeledningsevne, lav ekspansionskoefficient og modstand mod varmechok

● Høj elasticitet og god mekanisk slagfasthed

● Høj hårdhed, slidstyrke og korrosionsbestandighed

VeTek Semiconductorhar de førende CVD SiC Focus Ring-behandlingskapaciteter i Kina. I mellemtiden hjælper VeTek Semiconductors modne tekniske team og salgsteam os med at give kunderne de bedst egnede fokusringprodukter. At vælge VeTek semiconductor betyder partnerskab med en virksomhed, der er forpligtet til at skubbe grænserne forCVD siliciumcarbid innovation.

Med stor vægt på kvalitet, ydeevne og kundetilfredshed leverer vi produkter, der ikke kun opfylder, men overgår de strenge krav fra halvlederindustrien. Lad os hjælpe dig med at opnå større effektivitet, pålidelighed og succes i dine operationer med vores avancerede  CVD siliciumcarbid-løsninger.

SEM DATA FOR CVD SIC FILM

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning

VeTek SemiconductorCVD SiC Focus Ring produkter butikker: