Wafer Handling End Effector

Vetek Semiconductor Wafer Handling End Effector er en vigtig del af halvlederbehandlingen, transport af wafers og beskyttelse af deres overflader mod beskadigelse. VeTek Semiconductor, som en førende producent og leverandør af Wafer Handling End Effector, er altid forpligtet til at give kunderne fremragende Wafer Handling Robotic Arm-produkter og den bedste service. vi ser frem til at blive din langsigtede partner inden for produkter til waferhåndteringsværktøjer.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Wafer Handling End Effector er en type robothånd designet specielt til halvlederindustrien, normalt brugt til at håndtere og overføreoblater. Produktionsmiljøet for wafers kræver ekstrem høj renlighed, fordi små partikler eller forurenende stoffer kan få spåner til at svigte under forarbejdningen. Keramiske materialer er meget udbredt til fremstilling af disse hænder på grund af deres fremragende fysiske og kemiske egenskaber.

Sammenlignet med traditionelle metalmaterialer er fordelene vedkeramiki materialer afspejles hovedsageligt i følgende aspekter:

End Effector for Wafer Handling Operation Scenario

•Korrosionsbestandighed: Wafers udsættes for en række kemikalier under fremstillingsprocessen, og keramiske materialer kan effektivt modstå korrosion og sikre langtidsbrug af udstyr.

•Lav partikelfrigivelse: Da keramik har ekstremt lav partikelfrigivelse, vil de næppe producere partikler under håndteringsprocessen, hvorved risikoen for kontaminering af waferen reduceres.

•God modstand mod høje temperaturer: I nogle processer skal wafers håndteres i et højtemperaturmiljø, og den høje temperaturbestandighed af keramiske materialers waferhåndteringsrobot gør dem i stand til at tilpasse sig disse barske miljøer.

•Elektrisk isolering: Keramik er naturlige elektriske isolatorer, som er afgørende for behandlingsprocesser, der involverer strøm og kan forhindre statisk elektricitet i at påvirke wafere.

Konventionelt waferhåndteringsudstyr er lavet af aluminium, VetekSemi Wafer Handling SiC Boat lavet af SiC har mange fordele. SiC er kendt for sin fremragende mekaniske styrke, fremragende termiske stabilitet og korrosionsbestandighed. Disse egenskaber gør det til et ideelt materiale til Wafer Handling Robotic Arm, hvor renlighed, præcision og pålidelighed er afgørende.

Med den kontinuerlige udvikling af halvlederteknologi er størrelsen af wafere gradvist øget, hvilket har stillet højere krav til design og fremstilling af Wafer Handling End Effector. I fremtiden, med forbedringen af automationsteknologien, vil præcisionen, hastigheden og pålideligheden af End Effector for Wafer Handling fortsætte med at blive bedre.

Som et af kerneudstyret inden for halvlederfremstilling indtager waferhåndteringsrobotter en vigtig position i halvlederfabrikker på grund af deres høje renhed, korrosionsbestandighed og høje temperaturstabilitet. VeTek Semiconductor kan give kunderne skræddersyede Wafer Handling End Effector-produkter og pre-sales og after-sales-tjenester og ser frem til din konsultation.

VeTekSemWafer Handling End Effector:

Wafer Handling End Effector shops veteksemi