Hjem > Produkter > Siliciumcarbid belægning > MOCVD teknologi > SiC Coated Grafit Barrel Susceptor
SiC Coated Grafit Barrel Susceptor
  • SiC Coated Grafit Barrel SusceptorSiC Coated Grafit Barrel Susceptor

SiC Coated Grafit Barrel Susceptor

VeTek Semiconductor SiC Coated Graphite Barrel Susceptor er en højtydende waferbakke designet til halvlederepitaksiprocesser, der tilbyder fremragende termisk ledningsevne, høj temperatur og kemisk resistens, en overflade med høj renhed og tilpassede muligheder for at øge produktionseffektiviteten. Velkommen til din yderligere forespørgsel.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

VeTek Semiconductor SiC Coated Graphite Barrel Susceptor er en avanceret løsning designet specifikt til halvlederepitaksiprocesser, især i LPE-reaktorer. Denne højeffektive waferbakke er konstrueret til at optimere væksten af ​​halvledermaterialer, hvilket sikrer overlegen ydeevne og pålidelighed i krævende produktionsmiljøer. 


Veteksemis Graphite Barrel Susceptor-produkter har følgende enestående fordele


Høj temperatur og kemisk modstand: Fremstillet til at modstå belastningen ved højtemperaturapplikationer, SiC Coated Barrel Susceptor udviser bemærkelsesværdig modstandsdygtighed over for termisk stress og kemisk korrosion. Dens SiC-belægning beskytter grafitsubstratet mod oxidation og andre kemiske reaktioner, der kan forekomme i barske forarbejdningsmiljøer. Denne holdbarhed forlænger ikke kun produktets levetid, men reducerer også hyppigheden af ​​udskiftninger, hvilket bidrager til lavere driftsomkostninger og øget produktivitet.


Enestående termisk ledningsevne: En af de iøjnefaldende egenskaber ved SiC Coated Graphite Barrel Susceptor er dens fremragende varmeledningsevne. Denne egenskab giver mulighed for ensartet temperaturfordeling over waferen, hvilket er afgørende for at opnå epitaksiale lag af høj kvalitet. Den effektive varmeoverførsel minimerer termiske gradienter, hvilket kan føre til defekter i halvlederstrukturer og derved forbedre det samlede udbytte og ydeevne af epitaksiprocessen.


Overflade med høj renhed: Høj-puRity overflade af CVD SiC Coated Barrel Susceptor er afgørende for at opretholde integriteten af ​​de halvledermaterialer, der behandles. Forurenende stoffer kan påvirke de elektriske egenskaber af halvledere negativt, hvilket gør substratets renhed til en kritisk faktor i vellykket epitaksi. Med sine raffinerede fremstillingsprocesser sikrer den SiC-belagte overflade minimal kontaminering, hvilket fremmer krystalvækst af bedre kvalitet og enhedens overordnede ydeevne.


Applikationer i Semiconductor Epitaxy proces

SiC Coated Graphite Barrel Susceptor Working Schematic


Den primære anvendelse af SiC Coated Graphite Barrel Susceptor ligger inden for LPE-reaktorer, hvor den spiller en central rolle i væksten af ​​højkvalitets halvlederlag. Dens evne til at opretholde stabilitet under ekstreme forhold og samtidig fremme optimal varmefordeling gør den til en væsentlig komponent for producenter, der fokuserer på avancerede halvlederenheder. Ved at bruge denne susceptor kan virksomheder forvente forbedret ydeevne i produktionen af ​​højrente halvledermaterialer, hvilket baner vejen for udviklingen af ​​banebrydende teknologier.


VeTeksemi har længe været forpligtet til at levere avanceret teknologi og produktløsninger til halvlederindustrien. VeTek Semiconductors SiC-belagte susceptorer af grafit giver skræddersyede muligheder skræddersyet til specifikke applikationer og krav. Uanset om det er at ændre dimensioner, forbedre specifikke termiske egenskaber eller tilføje unikke funktioner til specialiserede processer, er VeTek Semiconductor forpligtet til at levere løsninger, der fuldt ud opfylder kundernes behov. Vi ser oprigtigt frem til at blive din langsigtede partner i Kina.


CVD SIC COATING FILM KRYSTAL STRUKTUR

CVD SIC COATING FILM CRYSTAL STRUCTURE


Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning


Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning
Ejendom
Typisk værdi
Krystal struktur
FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret
Belægningsdensitet
3,21 g/cm³
SiC belægning Hårdhed
2500 Vickers hårdhed (500 g belastning)
Kornstørrelse
2~10μm
Kemisk renhed
99,99995 %
Varmekapacitet
640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur
2700℃
Bøjestyrke
415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul
430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃
Termisk ledningsevne
300W·m-1·K-1
Termisk ekspansion (CTE)
4,5×10-6K-1


VeTek Semiconductor SiC Coated Graphite Barrel Susceptor producer butikker


sic coated Graphite substrateSiC Coated Graphite Barrel Susceptor product testSilicon carbide ceramics processingSemiconductor process equipment

Hot Tags: SiC Coated Graphite Barrel Susceptor, Kina, Producent, Leverandør, Fabrik, Customized, Køb, Avanceret, Holdbar, Made in China
Relateret kategori
Send forespørgsel
Du er velkommen til at give din forespørgsel i nedenstående formular. Vi svarer dig inden for 24 timer.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept